Mengapakah hasil salutan semikonduktor dihadkan oleh pencemaran yang tidak kelihatan? Plat molibdenum Mo2 ketulenan ultra-tinggi ialah penyelesaian utama.

Plat molibdenum Mo2 menyelesaikan masalah ini dari akarnya. Komposisi kimianya, Mo lebih besar daripada atau sama dengan 99. 95%, kandungan kekotoran dikawal ketat pada tahap yang sangat rendah, dan tekanan wap di bawah vakum hampir boleh diabaikan. Maksudnya, walaupun suhu relau dibasuh melebihi 1800 darjah , ia tidak akan "mencuri racun" seperti bahan lain, memastikan keseluruhan rongga salutan bersih ke tahap makmal.

Ambil pelanggan yang kami layani yang menjadikan filem nipis fotovoltaik dan litar bersepadu sebagai contoh. Pada masa lalu, mereka menggunakan plat tahan haba biasa-sebagai substrat sasaran yang memercik dan 8-12% daripada lapisan filem dalam setiap kelompok telah terbuang akibat pencemaran zarah. Selepas menggantikannya dengan plat molibdenum Mo2 kami, selepas berjalan selama tiga bulan berturut-turut, ketumpatan zarah pencemar terus menurun kepada 1/5 daripada asal, dan kadar hasil meningkat secara berterusan sebanyak 11%. Apa yang lebih dibesar-besarkan ialah kadar penggunaan sasaran juga tinggi, kerana substrat itu sendiri tidak melepaskan gas, proses sputtering lebih stabil, dan masa salutan tunggal boleh dipendekkan sebanyak 7%. Selepas satu tahun, kos yang dijimatkan oleh helaian yang dibuang sahaja jauh melebihi pelaburan dalam plat molibdenum itu sendiri.

Mengapa kesucian yang tinggi membawa jurang yang begitu besar? Salutan semikonduktor mempunyai keperluan yang sangat tinggi pada ketulenan atom, dan sebarang kekotoran dalam urutan 10 √ boleh menyebabkan litar pintas, kebocoran atau kemerosotan prestasi optik. Plat molibdenum Mo2 bukan sahaja tulen, tetapi juga mempunyai tekanan wap yang sangat rendah pada suhu tinggi. Dengan toleransi ketebalan terkawal kami (dari ± 0.05 mm) dan kerataan (Kurang daripada atau sama dengan 0.5 mm/m), selepas diproses menjadi komponen sumber ion atau substrat sasaran, ketepatan pemasangan adalah tinggi, medan haba adalah seragam, dan peralatan hampir tidak perlu berhenti untuk membersihkan rongga.

Sudah tentu, ketulenan tinggi hanyalah salah satu daripada "ciri pembunuh" plat molibdenum Mo2 dalam medan semikonduktor. Takat leburnya ialah 2623 darjah, dan ia masih boleh mempunyai kekuatan tinggi pada 2000 darjah, dan pekali habanya adalah serendah 5 × 10 → →/ darjah, supaya bahagian struktur dalam zon panas tidak akan berubah bentuk untuk masa yang lama. Menurut maklum balas daripada banyak pengeluar peralatan, selepas menggantikan plat molibdenum Mo2, kitaran penyelenggaraan relau telah dilanjutkan dari 3 bulan asal kepada 8-10 bulan, dan kadar operasi telah meningkat secara langsung ke tahap yang lebih tinggi.

Plat molibdenum Mo2 dengan ketebalan 0.5 mm hingga 50mm di gudang kami disimpan sepanjang tahun, dan permukaannya boleh sejuk-digulung terang (sesuai untuk pemesinan ketepatan) atau panas-hitam bergulung (rintangan pengoksidaan yang lebih baik). Minimum order hanya 10kg. Ambil model dan kembali untuk memasangnya untuk ujian. Selepas menjalankan satu atau dua relau, anda akan tahu perbezaannya. Diameter, toleransi, saiz, dan juga pemprosesan tersuai mengikut lukisan disokong, dan OEM OEM tiada masalah.

Jika anda masih bermasalah dengan masalah lama pencemaran halimunan salutan semikonduktor, turun naik hasil, atau penyelenggaraan peralatan, anda juga boleh mengalihkan perhatian anda kepada "ketulenan bahan", yang merupakan titik paling mudah diabaikan tetapi paling mematikan. Plat molibdenum Mo2 tidak hanya digantikan dengan plat, tetapi secara langsung meningkatkan kestabilan keseluruhan proses filem ke tahap yang lebih tinggi.

Perlukan kami menyesuaikan substrat molibdenum Mo2 mengikut lukisan peralatan salutan anda? Atau hantar sampel 10kg dahulu untuk anda sahkan di tapak? Sila hubungi kami. Penghantaran cepat dalam kelompok kecil, uji dahulu, dan kemudian beli, risiko sifar. Kilang peralatan semikonduktor yang benar-benar menggunakannya memahami bahawa dalam pembuatan filem-tinggi, memilih plat molibdenum "sifar-pencemaran" yang betul selalunya merupakan langkah terakhir untuk menstabilkan sepenuhnya hasil dan keuntungan.